——靶材中之一类。?HYPERLINK "http://www.diytrade.com/china/2/products/3179448/%E7%A6%BB%E5%AD%90%E6%BA%85%E5%B0%84%E9%95%80%E8%86%9C%E4%BB%AA_EMS550.html"?离子溅射镀膜?中的靶材之一。靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料。靶材种类有纯金属靶材、合金靶材、氧化物靶材、硅靶材、多晶硅靶材、氧化物靶材、氟化物靶材、化合物靶材等等。镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。金属靶材包括镍靶、铝靶、锆靶、镁靶、铜靶、铁靶、铌靶、锡靶、钨靶、钽靶、铬靶、钛靶、钴靶、钼靶、钒靶、钆靶、镧靶、铈靶、钕靶、镨靶、金靶、银靶、铂靶等，通过热（冷）等静压方法、粉末冶金法专业生产。合金靶材包括钛铝、铬铝、铬钨、铬硅、铬钛、铬矾、锌锡、镍铬、镍铁、钴铁、钨钛、钴铬钽、钴铌锆、镍铬铁、镍铬铝铱、钴铬铝铱、铁铬铝铱等靶材，其中钛铝、铬铝、钨钛合金靶等是用先进的热等静压（HIP）工艺生产而成，纯度从99.5%-99.9%，靶材致密度高，无气孔和疏松，组织均匀，晶粒细小，使用寿命长。其中镍铬、镍铬铁、钴铁、钴铬钽、钴铌锆合金靶等是用真空感应炉熔炼法制成的，通过锻造、轧制和热处理等一系列工艺来提高产品质量。该公司生产的靶材致密度接近理论密度，组织、成分均匀，平均晶粒尺寸小于100微米。安泰难熔材料分公司作为国内最早从事多种材料研发与生产的单位，依托自身雄厚的技术和设备优势，目前已经发展成为镀膜靶材的专业制造商。该公司拥有大型冷/热等静压机、真空感应熔炼炉、大型冷/热轧机等制造设备及规模化的机加工车间，可为玻璃、机械加工、平面显示、汽车、能源、家电、半导体、磁数据存储、光数据存储等行业提供多种高品质的纯金属及合金靶材。靶材产品除供应国内客户外，已远销至美国、德国、法国、日本、新加坡、韩国、台湾等国家和地区，在ISO9000/14000/18000三体系的保障下，产品质量深受用户信赖。参见“喷金机”、“金靶”。